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  微結構光學是指以微、納米尺度結構對光波參量進行操控的研究方向;中科院光電所微結構光學研究團隊以發展微納結構光學設計、微納結構核心光學元件制備工藝及集成化新型光學系統為宗旨。在國家、總裝重大工程及國民經濟需求的牽引下,已經形成了全套的、系統的微納結構設計與制備工藝體系。

  2006年,董小春博士在國際上提出了全新的“掩模移動濾波”微結構成形技術,攻克了“任意排列、非球面面形”微透鏡陣列的成形難題(APPLIED PHYSICS LETTERS 89, 261105 2006及董小春博士學位論文),形成了規則/非規則排布、高填充因子、無正交性誤差的微結構(包括位相片、微透鏡)成形工藝; 在此基礎上,研究團隊通過校正光刻與刻蝕工藝過程中的非線性誤差,實現了微結構光學元件面形的準確控制。實現了低像差、成像級微光學結構制備。

  2015年,研究團隊針對“掩模移動濾波技術”進行再次改進,通過對掩模進行二維編碼調控,建立了全新的“二維移動濾波技術”。該技術在保留“掩模移動濾波技術”所有優點的基礎上,使移動濾波掩模的灰度等級提升了近10倍,實現了無散斑、低旁瓣、高能量利用率微透鏡陣列的準確成形。

  經過不斷的發展,研究團隊建立了具有自主知識產權、集微光學器件設計、加工制作、檢測全過程的微結構光學平臺。研究團隊是國內能夠實現非球面面形、非規則排布微透鏡陣列制備的研究隊伍,目前與“成都印鈔造幣廠”、“中鈔長城貴金屬有限公司”“成都科奧達光電技術有限公司”、“綿陽綻放科技”、“深圳國寶金幣有限公司”“深圳拉姆達防偽技術有限公司”等單位建立合作關系,相關產品已經在自適應光學、CCD增強耦合、ICF光學系統像差校正等領域得到了廣泛應用。課題組將繼續本著“技術開拓、服務大眾”的原則,為國內外用戶提供精密的、可靠的、快速的產品與服務,歡迎相關企業及科研院所來電咨詢,合作研究。


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