<center id="3jj1g"><output id="3jj1g"></output></center>
<source id="3jj1g"><menuitem id="3jj1g"><legend id="3jj1g"></legend></menuitem></source><nobr id="3jj1g"></nobr>
<th id="3jj1g"><output id="3jj1g"></output></th>
<source id="3jj1g"></source>
<source id="3jj1g"><mark id="3jj1g"></mark></source>

歡迎訪問四川久光科技有限公司官方網站

微透鏡陳列元件

新聞分類

產品分類

聯系我們

四川久光科技有限公司

聯系電話:13882237898

電子郵箱:dxc468@126.com

微信號:dxc468

網址:www.hninglong.com

公司地址:成都市雙流縣西南航空港經濟開發區工業集中區

衍射光學元件的特點

您的當前位置: 首 頁 >> 新聞資訊 >> 公司新聞

衍射光學元件的特點

發布日期:2019-12-20 作者: 點擊:

衍射光學元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻機中一系列可動的鏡片(圖1所示),主要用于產生光刻所需要的光源。一臺光刻機的光源大概有4000片鏡片。

衍射光學元件的特點

DOE的特點則是能夠在保持較高衍射效率的同時對光強分布進行精確控制,因此DOE成為實現離軸照明的理想元件。一般用于光刻系統離軸照明的DOE,其子單元個數需<10,設計數據量較大,單元尺寸達到微米甚至是亞微米量級 。

一段光刻膠線條的示意圖

衍射光學元件的概念

光沿著直線傳播,當光穿過一個小孔或經過一個輪廓分明的邊緣時,沿小孔邊緣產生了干涉圖形,結果得到了一個模糊的圖像,而不是希望出現在光和陰影之間的清晰邊緣,如圖2。光看上去沿狹縫邊緣彎曲了。這種現象被稱做衍射  。

衍射光學元件

從小孔射出的光的干涉圖樣
衍射效率
衍射效率是評價衍射光學元件以及含有衍射光學元件的折衍射混合光學系統的重要指標之一。光線通過衍射光學元件后,會產生多個衍射級次,一般只是關注主衍射級次的光線,其他衍射級次的光線在主衍射級像面上形成雜散光,降低像面的對比度。因此,衍射光學元件的衍射效率直接影響到衍射光學元件的成像質量,對衍射光學元件衍射效率的精確測量是十分必要的 [3]  。
掩膜版的衍射
光的衍射和光刻密切相關,因為投影掩膜版上有小的清晰圖形并且間距很窄。曝光時,光必須通過這些圖形,見圖3。衍射圖樣奪走了曝光能量,并使光發散,導致光刻膠上不要曝光的區域被曝光。這個問題在孔小時更嚴重,例如小到200nm的接觸孔。由衍射引起的干涉圖樣能使小接觸孔和小線條很難被光刻

本文網址:http://www.hninglong.com/news/375.html

關鍵詞:衍射光學元件特點,衍射光學元件

最近瀏覽:

微透鏡陳列元件      

熱推產品  |  主營區域: 四川 重慶 北京 山東 昆山 吳江 天津 武漢 上海 長春
歡迎給我們留言
請在此輸入留言內容,我們會盡快與您聯系。
姓名
聯系人
電話
座機/手機號碼
日韩v亚洲欧美母乳v一区,国产白浆 高潮 喷水,一本一道人人妻人人妻αV,图片区小说区激情区偷拍区
<center id="3jj1g"><output id="3jj1g"></output></center>
<source id="3jj1g"><menuitem id="3jj1g"><legend id="3jj1g"></legend></menuitem></source><nobr id="3jj1g"></nobr>
<th id="3jj1g"><output id="3jj1g"></output></th>
<source id="3jj1g"></source>
<source id="3jj1g"><mark id="3jj1g"></mark></source>