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衍射光學元件的尤其和功效

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衍射光學元件的尤其和功效

發布日期:2021-03-18 作者: 點擊:

       衍射光學元件是光刻機中的一系列可挪動鏡片,關鍵用以造成光刻需要的燈源。光刻機的燈源約為4000鏡片。


衍射光學元件的特點:

       衍射光學元件的特點是它能夠在維持高衍射效率的另外,確立地上手光抗壓強度遍布。因而,衍射光學元件變成離軸照明燈具的理想化部件。一般用以光刻系統軟件衍射光學元件的離軸照明燈具,子模塊的總數必須低于10個,設計方案信息量很大,而且單元尺寸做到μm乃亞微米的量級。


       光線沿直線傳播。當光線穿過小圓孔或穿過輪廊明晰的邊沿時,順著小圓孔的邊沿會造成干預樣圖。結果是圖象模糊不清,而不是預估在光和黑影中間發生的圖象。邊沿清楚,光線好像順著間隙的邊沿彎折。這類狀況稱之為衍射。


衍射效率:

       衍射效率是評定衍射光學元件和包括衍射光學元件的映射-衍射混和光學系統的關鍵指標值。在光根據衍射光學元件以后,造成好幾個衍射級。一般,僅關心主衍射級的光,而別的衍射級的光在主衍射級的像表面產生雜散光眼,進而減少了像面的飽和度。因而,衍射光學元件的衍射效率立即危害衍射光學元件的顯像品質,必須準確地測量衍射光學元件的衍射效率。


補水面膜的衍射:

       光的衍射與光刻技術性息息相關,由于投射掩膜具備小的清楚圖案設計和狹小的間隔。在曝出期內,光一定要穿過這種圖案設計,衍射圖案設計會帶去曝出的能量,并使光散發,進而造成 光致抗蝕劑的未曝出地區曝出。當孔鐘頭,比如觸碰孔小到200nm時,這個問題更為比較嚴重。衍射造成的干預樣圖會使小觸碰孔和小線無法光刻。

衍射光學元件.jpg

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關鍵詞:衍射光學元件,光學元件

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